一、技术概述与核心优势 MEMS（微机电系统）流量传感器是采用半导体工艺制造的微型流量测量装置，其核心结构包含微机械传感单元、信号调理电路和数据处理模块。这种传感器实现了...

在工业自动化、医疗设备、汽车电子和智能家居等领域，精确测量气体或液体流量至关重要。传统流量传感器体积大、成本高，而微机电系统（MEMS）流量传感器凭借其微型化、高精度和...

引言：MEMS技术如何重塑压力传感领域 微机电系统(MEMS)压力传感器正以其微小尺寸、高精度和低成本优势，改变着多个行业的压力测量方式。作为现代工业自动化和智能设备的核心组件，...

一、MEMS红外光源概述 MEMS红外光源（Micro-Electro-Mechanical Systems Infrared Light Source）是近年来快速发展的一种新型红外辐射器件，它结合了微机电系统（MEMS）技术与红外辐射原理，具有体积...

一、热导式氢气传感器概述 热导式氢气传感器是一种基于气体热导率变化原理设计的检测装置，主要用于氢气的浓度测量。作为一种经典的物理型气体传感器，它具有结构简单、稳定性...

微机电系统（MEMS）加工技术在现代传感器、执行器、射频器件等领域发挥着关键作用。其中，薄膜沉积工艺是MEMS制造的核心环节之一，而磁控溅射镀膜因其高沉积速率、优异薄膜均匀性...

随着微机电系统(MEMS)技术的飞速发展，MEMS光源及其相关应用已成为光学传感领域的研究热点。本文将重点探讨MEMS红外光源和黑体光源的技术特点，并分析其与MEMS压力传感器等器件的系...

引言 在现代工业、医疗、环保和智能家居等领域，气体流量传感器扮演着至关重要的角色。它们能够精确测量气体的流速、流量和压力，为系统控制和优化提供关键数据。随着微机电系...

1. 热导式传感器概述 热导式传感器（Thermal Conductivity Sensor, TCS）是一种基于气体或液体热传导特性进行测量的传感器，主要用于检测气体成分、流量或热导率变化。其核心原理是利用加...