一、MEMS红外光源概述 MEMS红外光源（Micro-Electro-Mechanical Systems Infrared Light Source）是近年来快速发展的一种新型红外辐射器件，它结合了微机电系统（MEMS）技术与红外辐射原理，具有体积...

一、热导式氢气传感器概述 热导式氢气传感器是一种基于气体热导率变化原理设计的检测装置，主要用于氢气的浓度测量。作为一种经典的物理型气体传感器，它具有结构简单、稳定性...

微机电系统（MEMS）加工技术在现代传感器、执行器、射频器件等领域发挥着关键作用。其中，薄膜沉积工艺是MEMS制造的核心环节之一，而磁控溅射镀膜因其高沉积速率、优异薄膜均匀性...

随着微机电系统(MEMS)技术的飞速发展，MEMS光源及其相关应用已成为光学传感领域的研究热点。本文将重点探讨MEMS红外光源和黑体光源的技术特点，并分析其与MEMS压力传感器等器件的系...

引言 在现代工业、医疗、环保和智能家居等领域，气体流量传感器扮演着至关重要的角色。它们能够精确测量气体的流速、流量和压力，为系统控制和优化提供关键数据。随着微机电系...

1. 热导式传感器概述 热导式传感器（Thermal Conductivity Sensor, TCS）是一种基于气体或液体热传导特性进行测量的传感器，主要用于检测气体成分、流量或热导率变化。其核心原理是利用加...

随着微机电系统（MEMS）技术的发展，MEMS流量传感器凭借其微型化、高精度、低功耗等优势，在医疗、工业、汽车电子等领域得到广泛应用。与传统流量传感器相比，MEMS流量传感器体积...

氢气（H₂）作为一种清洁能源载体，在新能源、化工、航空航天等领域具有重要应用。然而，氢气易燃易爆（爆炸极限4%~75%），其泄漏检测至关重要。氢气传感器因此成为安全监测的关...

氢气传感器作为一种重要的气体检测设备，凭借其高灵敏度和快速响应特性，在多个涉及氢气生产、使用或泄漏风险的领域发挥着关键作用。以下是氢气传感器的主要应用领域及具体应...