随着MEMS技术的快速发展，气体传感器在工业、医疗、环境监测等领域的应用日益广泛。其中，氢气和氦气传感器因其独特的物理化学性质，在安全监测、泄漏检测、科研实验等方面发挥...

氢气作为一种清洁能源，在燃料电池、化工、航空航天等领域广泛应用。然而，氢气具有易燃易爆特性（爆炸极限为4%～75%），一旦泄露，极易引发安全事故。因此，氢气泄露传感器成为...

在现代光电技术领域，光源的选择至关重要，尤其是在红外应用（如夜视、气体检测、生物传感等）中。传统光源（如白炽灯、LED、激光二极管）已被广泛应用，但随着MEMS技术的发展，...

在现代工业自动化、环境监测以及消费电子等领域，传感器技术发挥着至关重要的作用。其中，压力传感器和气流传感器作为两种关键的感知元件，广泛应用于各类系统中，用于监测和...

MEMS技术自20世纪80年代发展至今，已在传感器、执行器、光学器件等领域展现出巨大的应用潜力。红外（IR）光源作为MEMS技术的重要组成部分，因其独特的非接触探测、穿透性强、抗干扰...

一、概述 MEMS流量传感器是一种利用微纳制造技术制造的微型流量测量装置。与传统流量传感器相比，它具有体积小、重量轻、响应快、功耗低、成本低和易于集成等显著优势，在工业、...

随着环境监测、工业安全和智能家居等领域对气体检测需求的不断增加，气体传感器技术得到了快速发展。MEMS技术的引入为气体传感器的小型化、智能化和低功耗化提供了新的解决方案...

在当今科技飞速发展的时代，红外光源作为光电传感领域的核心组件，正经历着一场深刻的技术变革。其中，MEMS（微机电系统）红外光源凭借其独特优势，正在重塑从智能家居到工业检...

红外光源作为一种不可见光，在现代科技和工业领域中扮演着越来越重要的角色。红外光是指波长介于可见光和微波之间的电磁波，通常分为近红外（0.75-1.4m）、中红外（1.4-3m）和远红...